打入 5nm 产线!这家国产半导体设备商科创板过会拟募资 30 亿元

  芯东西 8 月 30 日报道,今天下午,北京屹唐半导体科技股份有限公司(以下简称 屹唐股份 )通过科创板上市委会议。

  屹唐股份的主营业务为干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备,其产品可应用于逻辑芯片、闪存芯片及 DRAM 芯片生产。上会稿显示,屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备最高可应用于 5nm 逻辑芯片、128 层 3D 闪存芯片及 1y 到 2x nm 系列 DRAM 芯片的量产。

  快速热处理可以增加光刻胶和基片间的黏附能力,防止显影时光刻胶图形的脱落以及湿法腐蚀时产生侧面腐蚀(sideetching)。干法刻蚀主要是指以气体为主要媒介的刻蚀技术,可以让晶圆在干燥的状态下进出系统,进行刻蚀加工。而在刻蚀之后,晶圆已不需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片表面去除,干法去胶利用等离子体将光刻胶去除,其效果较湿法去胶工艺更好。

  屹唐股份总部位于中国,研发、制造基地分布于中国、美国、德国三地。2016 年屹唐股份收购美国半导体设备厂商 Mattson Technology Inc.(MTI),并将其作为境外经营主要主体,MTI 也是屹唐股份合并报表范围内的主要业绩贡献主体。

  根据市场研究公司 Gartner 统计,2020 年屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备的市场占有率分别位居全球第一、第二。

  截至上会稿,北京屹唐盛龙半导体产业投资中心(有限合伙)持有屹唐股份总股本的 45.05%,为屹唐股份直接控股股东。亦庄产投和亦庄国投则是间接控股股东,均为国资背景。屹唐股份的实际控制人则为财政审计局。

  本次 IPO,屹唐股份计划发行股份不超过 46941 万股,拟募集资金 30 亿元,将分别用于 屹唐半导体集成电路装备研发制造服务中心 、 屹唐半导体高端集成电路装备研发 以及 发展和科技储备资金 3 个项目。

  2019 年屹唐股份净利润为负,呈亏损态势。上会稿写道,该年度屹唐股份的中国区业务团队为了满足国内客户需求而快速扩张,使其各项先行投入开支较大,因此产生了亏损。

  上会稿强调,在报告期内,屹唐股份来源于中国境内的收入分别为 3.21 亿元、4.94 亿元和 9.74 亿元,复合增长率达 74.27%,境内收入占总营收比重由 21.12% 上升至 42.12%。

  如果以产品类型划分,屹唐股份营收可分为专用设备销售、备品备件、服务和特许权使用费 4 种。其中,专用设备销售包括干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备 3 种设备的销售收入。2020 年专用设备销售金额达 16.93 亿元,占总营收比例为 73.23%,是屹唐股份的主要收入来源。

  从 2018 年到 2020 年,屹唐股份干法去胶设备销售占比持续增长,快速热处理设备销售占比则有所下降,干法刻蚀设备营收占比为 5% 左右。

  Gartner 的数据显示,2018 年至 2020 年间,屹唐股份在干法去胶设备领域市场份额由 12.87% 提升至 31.29%,市场份额排名由全球第三跃升至全球第一;在快速热处理设备领域,屹唐股份的市场份额由 11.18% 增长至 11.50%,为全球第二。

  值得一提的是,上交所在问询中,提到了 2019 年、2020 年屹唐股份 5nm 以内产品收入大幅下降、10-28nm 产品收入大幅上升的情况。屹唐股份回应称,由于国内客户的设备制程需求以 14-28nm 为主,且屹唐股份来自境内客户的收入增加,导致其 10-28nm 产品收入大幅上升。

  而 5nm 制程设备受头部厂商采购计划影响较大,随着半导体行业升温,芯片制造厂商已加大了先进制程资本开支。2021 年 1-6 月屹唐股份 5nm 干法去胶设备已卖出,获得了一定收入,具体销售金额则并未披露。

  具体到客户上,虽然屹唐股份并未透露报告期 3 年中前五大客户的名称,仅以客户 A、B、C、D、E、F、G、H 代称,但上会稿显示屹唐股份的代表客户有台积电、三星电子、中芯国际、长江存储、格芯、美光、SK 海力士等。

  报告期内,屹唐股份主要的采购项目较多,主要可分为机械类、电气类、机电一体类、气体传输系统类、真空系统类、传感器类、气动系统类、仪器仪表类等。

  日本电机、半导体设备供应商 Rorze Corporation 在三年内一直是屹唐股份的最大供应商。

  从应用领域来看,屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备主要应用于逻辑芯片、闪存芯片、DRAM 芯片生产。

  具体来说,屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备主要可用于 90nm 到 5nm 逻辑芯片 1y 到 2x nm 系列 DRAM 芯片以及 32 层到 128 层 3D 闪存芯片量产产线;干法刻蚀设备主要可用于 65nm 到 5nm 逻辑芯片、1y 到 2x nm 系列 DRAM 芯片以及 32 层到 128 层 3D 闪存芯片量产产线。

  当前,屹唐股份在中国的制造基地主要专注于成熟产品的生产及新产品研发,具备从零部件采购到整机生产调试的完整生产能力;美国子公司负责等离子体去胶、刻蚀设备的研发和制造;德国子公司则主要进行快速热处理设备的研发和制造。

  从整个半导体设备市场来看,能够提供干法去胶设备、快速热处理设备或干法刻蚀设备的外国厂商主要有应用材料、东京电子、泛林半导体、斯库林(前身为迪恩士半导体)、维易科和比思科公司;境内设备厂商主要有北方华创、中微公司、盛美股份、华海清科和芯源微等。

  相比境内竞争对手,屹唐股份是国内唯一一家同时具备等离子体和热处理领先技术的公司,各产品在细分领域有着较强的竞争力。

  但和国际巨头相比,屹唐股份的市场占有率、营收规模均有一定差距,在原材料采购、产品销售等方面的议价能力、抗风险能力有着明显的劣势。

  虽然屹唐股份 2020 年快速热处理设备市场占有率为 11.50%,全球排名第二,但排名第一的应用材料市场占有率高达 69.72%,差距较大。

  2020 年,屹唐股份在干法刻蚀领域市场份额 0.1%,为全球第十;泛林半导体、东京电子、应用材料三大厂商合计市场份额为 90.24%,占据了绝对优势。

  此外,相比应用材料、东京电子、泛林半导体等,屹唐股份还在产品线覆盖广度上有着较大差距。

  在收购 MTI 后,屹唐股份与 MTI 实施知识产权共享,促进了母、子公司知识产权与核心技术的内部整合。截至 2021 年 5 月 31 日,屹唐股份与 MTI 共同拥有 27 项境内已授权发明专利和 275 项境外已授权发明专利,合计拥有 309 项已授权专利。

  目前,屹唐股份在干法去胶、快速热处理及干法刻蚀 3 类专用设备产品领域均掌握了相关核心技术,并于 2018 年中国研发制造基地建成后,实现了 3 种设备的本地生产和销售。

  在核心技术人员方面,MTI 的 4 名核心技术人员留任 3 人,其余 1 人因个人原因离职。收购完成后,屹唐股份又聘请了 Hao Allen Lu(陆郝安)、Schubert S. Chu、Michael Xiaoxuan Yang(杨晓晅)、龙茂林、Hua Chung(仲华)等 5 人在 MTI 和屹唐股份同时担任核心技术人员,形成了以上述 5 人为核心的技术研发团队。

  上述 5 人都曾在应用材料任职,其中 Hao Allen Lu 还曾任英特尔技术制造部资深主任工程师、掩膜刻蚀部门负责人、中国区公共事务部总监、技术制造工程部中国芯片厂项目主管等职务;2016 年 5 月,他还担任了 SEMI 全球副总裁和中国区总裁。

  屹唐股份的直接控股股东为北京屹唐盛龙半导体产业投资中心(有限合伙),持有 45.05% 的公司股份。最近一年,江苏招银、南京招银、环旭创芯、吉慧投资等 23 家机构通过增资或受让股权的方式成为发行人新增股东。

  屹唐盛龙的执行事务合伙人为亦庄产投,根据其《合伙协议》,亦庄产投对外代表企业,间接控制屹唐股份 45.05% 的表决权。亦庄国投则持有亦庄产投 100% 的股权。

  需要指出的是,亦庄产投和亦庄国投的法定代表人均为杨永政,其也是屹唐股份董事长。财政审计局则持有亦庄国投 100% 的股权,为屹唐股份实际控制人。

  除了屹唐盛龙,BH1、BH2 和宁波义方为发行人员工持股平台,合计持有屹唐股份 13.52% 的股份。海松非凡对屹唐股份的持股比例为 7.21%,是第三大股东。环旭创芯则为华瑞世纪的全资子公司,两家合计持有 5.26% 的股份。

  在收购 MTI 后,屹唐股份对双方技术情况进行了整合,共享技术和资源,实现了干法去胶、快速热处理及干法刻蚀三类专用设备的本土生产能力,促进了国产芯片的自主可控。

  但同时,根据 Gartner 的数据,2020 年全球干法刻蚀设备市场规模为 136.89 亿美元,是屹唐股份的三大产品中规模最大的市场。而这一领域也是屹唐股份市场份额最低、收入占比最低的产品。屹唐股份如果迟迟无法在这一领域打开局面,有可能会在与国际巨头和国内厂商的竞争中处于下风。

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